電源修理・メンテナンス事業
高い技術を持ったエンジニアが修理・メンテナンスを行います。韓国のEQ BESTECH社と技術提携しており、エイムにはEQ BESTECH社より出向してきたエンジニアが常駐。韓国での教育も実施し日々技術の向上に努めております。
「敏速な対応」「信頼できる技術」「競争力のある価格設定」でお客様のご期待にお応えいたします。
受入れ
お客様からの修理依頼品を一つ一つ確認し、受入致します。
受入検査
電源の症状を確認し、分解及び各部品の良否判定を行い、故障個所を特定致します。検査内容を基に修理可否の判断を致します。
お見積り
御見積書及び受入検査書を作成しご提出致します。
その後、お客様より修理継続の指示を頂いてから修理着手致します。
修理
不良部品の交換、配線の補修、はんだの補修等を実施致します。
その後、出力前確認として組立状態の確認を行います。
出力検査
パワーテストにて、出力の確認及び校正を行います。
エージングテストにて、12時間の耐久テストを実施致します。
（機種により内容は異なります）
出荷検査
組立状態、導通チェック、付属品等の確認を行い、梱包致します。
検査成績書及びサービスレポートの作成を行います。
出荷
指定された場所へ出荷・納品致します。検査成績書及びサービスレポートをご提出致します。
RF電源・マッチングボックス・RPS 修理フローチャート
●RF電源 取扱メーカー一覧
ADTEC AE ASTEX COMDEL ENI DAIHEN KYOSAN パール工業 ETO 他
●マッチングボックス 取扱メーカー一覧
AMAT AE LAM ENI TRAZAR MATTSON RFPP ADTEC DAIHEN TCP 他
●RPS 取扱メーカー一覧
MKS 他
こちらより詳細一覧（PDF）がダウンロードできます。
販売品目についての詳細はお問合せください。
詳細一覧（PDF）
修理保証とトラブル対応
1.保証期間：原則として弊社出荷日より3ヶ月または6ヶ月以内。
(保証期間満了日以降に装置搭載され、正常に動作されなかった場合は、弊社営業担当まで御連絡下さい)
2.保証内容：前回の修理における部品不良または作業不良に起因する同一箇所・同一故障について無償修理対応致します。
ただし、ご指摘の不具合が再現しなかった場合の診断費用は有償になります。
3.保証期間内であっても次のような場合には、有償修理になります。
(イ)保証書が御提示いただけない場合。
(ロ)弊社の交換推奨部品に対し、交換を実施しなかった場合。
(ハ)ご使用上の誤りによる故障または損傷。
(ニ)納入後の輸送・移動・設置時の落下・衝撃及び輸送上の故障または損傷。
(ホ)火災・地震・水害・落雷・その他の天災などによる故障または損傷
(ヘ)接続する機器の故障により誘発する故障または損傷。
(ト)汚れ、異物付着等による故障または損傷。
(チ)弊社以外で分解・改造・調整・部品交換がされた場合。
(リ)シリアル番号が確認できず、弊社により修理された品と確認できない場合。
(ヌ)その他、弊社の責任範囲外と判断される場合。
4.出張修理を行った場合には出張に要する実費を申し上げる場合がございます。
トラブル対応
各種装置に修理品を搭載し、実プロセス実行下で不具合が発生した場合は、ユーザーの要請により、トラブルの原因が装置側か、修理品側にあるのか調査の為に、プロセス等も充分理解した技術者の出向も可能。
修理可能品リスト
修理可能品リスト ( RPS )| MANUFACTURER | VOLUME | MODEL |
| MKS | 2L | AX7657 |
| AX7657-2 | ||
| AX7657-5 | ||
| FI20620 | ||
| FI20620-1 | ||
| AX7650 | ||
| AX7651 | ||
| AX7651-2 | ||
| 3L | AX7670 | |
| AX7670-02 | ||
| AX7670-06 | ||
| AX7670-12 | ||
| AX7670-16 | ||
| AX7670-21 | ||
| AX7670-60 | ||
| 6L | AX7685 | |
| AX7685-01 | ||
| FI80131 | ||
| FI80131-C | ||
| FI80133 | ||
| 8L | FI80132 | |
| 15L | FI80146 | |
| FI80146-1 | ||
| AX7640-01 | ||
| AX7645 PS-01 | ||
| AX7645 RH-01 | ||
| 22L | AX7635-02 | |
| AX7635-03 |
修理可能品リスト ( RFジェネレーター )
| MANUFACTURER | MODEL |
| AD- TEC | AX-500 |
| AX-1000 | |
| AX-1000Ⅱ | |
| AX-1000AMⅡ | |
| AX-2000 | |
| AX-2000EUⅡ | |
| AX-2000S | |
| AX-3000 | |
| AX-5000 | |
| AE | APEX-1513 |
| APEX-5013 | |
| APEX-8013 | |
| APEX-10013 | |
| HFV-8000 | |
| PDX 900-2V | |
| PDX-1400 | |
| PDX-2500 | |
| PDW 2200 | |
| RFDS | |
| RFDS-A | |
| RFDS-1250 | |
| RFG-1250 | |
| RFG-2000 | |
| RFG-2000-2V | |
| RFG-3000 | |
| RFG-3001 | |
| RFG-5500 | |
| COMDEL | CPS-100/13 |
| CPS-1000/13 | |
| CPS-1000M/13 | |
| CPS-1001/13 | |
| CPS-1001S/13 | |
| CPS-1001/60 | |
| CPS-1001S/60 | |
| CX-600 | |
| CX-600AS | |
| CX-600S | |
| CX-600S/13 | |
| CLF-5000 | |
| DAIHEN | DRFS-5SA |
| DRFS-10SB | |
| MFG-15SA | |
| MFG-20SA | |
| MFG-20SA1 | |
| MFG-20SA2 | |
| MFG-20SA3 | |
| RGA-10A | |
| ENI | ACG-6B |
| ACG-10T | |
| GHW-25 | |
| GHW-25A | |
| GMW-25 | |
| GMW-25A | |
| GMW-50A | |
| LPG-12A | |
| NOVA-50A | |
| OEM-6 | |
| OEM-6A | |
| OEM-6AM-1B | |
| OEM-6J | |
| OEM-650A | |
| OEM-12 | |
| OEM-12A | |
| OEM-12A-6 | |
| OEM-12B-01 | |
| OEM-12B-02 | |
| OEM-12B-03 | |
| OEM-12B-06 | |
| OEM-12B-07 | |
| OEM-12B3-02 | |
| OEM-12B3-08 | |
| OEM-12L | |
| OEM-1250 | |
| OEM-2000 | |
| OEM-25A | |
| OEM-25B | |
| OEM-25N | |
| OEM-28B-01 | |
| OEM-28B-02 | |
| OEM-28B-04 | |
| OEM-50 | |
| OEM-50N | |
| PL-2HF | |
| PL-2HFN | |
| PL-3G | |
| KYOSAN | RFK20Z |
| RFK30 | |
| RFK30Z | |
| YFK30Z | |
| RFK50Z | |
| RFK75Z | |
| YFK75Z | |
| Pearl Kogyo | CF-500-400K |
| LP-150-800K | |
| LP-500-800K | |
| LP-2000-800K | |
| M-30AW2VD-27M | |
| RP-50-2M | |
| RP-150-2M | |
| RP-300-2M | |
| RP-300-1356 | |
| RFPP（AE) | LF-5 |
| LF-5S | |
| LF-10 | |
| LF-10A | |
| RF-5S | |
| RF-10S | |
| RF-20MWC | |
| RF-20S | |
| RF-30S | |
| RF-30SWC | |
| RF-50S |
修理可能品リスト ( マッチングBOX )
| MANUFACTURER | MODEL | |
| AD-TEC | AMV1000-G5E | |
| AMV1000-MAT | ||
| AM-1000(S) | ||
| AM-2000(S) | ||
| AE | AZX-63 | |
| BIAS MATCH | ||
| DPS DOME Match | 3155086-002 | |
| MERCURY 3013 MATCH | ||
| AMAT | CVD RF Match | 0010 - 09750 |
| DPS RF Match | 0010 – 36408 | |
| HE Oxide RF Match | 0010 - 30686 | |
| HE Metal RF Match | 0010 - 30687 | |
| MCVD RF Match | 0010 - 04137 | |
| MCVD RF Match | 0010 - 04138 | |
| Metal RF Match | 0010 – 30094 | |
| Metal RF Match | 0010 - 36114 | |
| Oxide RF Match | 0010 - 36162 | |
| Poly RF Match | 0010 - 09416 | |
| PVD RF Match | 0010 - 20524 | |
| Vectra RF Match | 0010 -13622 | |
| ASTECH | ATL-100RA/DT2 | |
| DAIHEN | AMN-30C11 | |
| MFM-20SA2 | ||
| RMN-6C | ||
| RMN-30 | ||
| RMN-30A1B | ||
| RMN-30D2 | ||
| RMN-50 | ||
| RMN-75A | ||
| RMN-75A1 | ||
| ENI(MKS) | ENI RF Match | MHW-25-04 |
| ENI RF Match | MW-20LD-HN | |
| ENI RF Match | MWD-25LD | |
| ENI RF Match | MWH-25-04 | |
| ENI RF Match | MWM-25-02X | |
| KYOSAN | 30TY2D | |
| MBK20 | ||
| LAM | TCP BOTTOM Match | 853-250001-024 |
| TCP MINI Match | 853-015130-002 | |
| TCP TOP RF Match | 853-800120-101 | |
| TCP TOP RF Match | 853-032294-002 | |
| MATTSON | RF-1000 | |
| RF-1000S | ||
| PSC/PSK | PSC RF MATCH | |
| PSK RF MATCH | ||
| REPP（AE) | 7622388010 | |
| TRAZAR | AMU2-1 | |
| AMU2C-1 | ||
| AMU10D-1 | ||
| AMU10D-2 | ||
| AMU10E-2 | ||
| AMU10G-2 | ||
| RFDS-1 | ||
| RFS1-3 | ||
| SRN1-2 | ||
| ULVAC | MBX-1305A | |
修理可能品リスト ( DC電源 )
| MANUFACTURER | MODEL |
| AE | MDX-1K |
| MDX-10K | |
| MDX-20K | |
| MDX-L6 | |
| MDX-L12 | |
| MDX-L12M | |
| MDX-L12-650 | |
| MDX-L18M | |
| MDX-L HALO | |
| ULVAC | MDL1501A |
