真空機器の精密洗浄

　精密洗浄した真空装置部品がお客様でそのまま使用できることがエイムの目指すメンテナンスです。

　１．エイム独自のメンテナンス技術によりライフが安定します。
　２．突然のトラブルが軽減されます。
　３．計画的なメンテナンスによりお客様の生産性向上につながります。

　洗浄で発生する有害な産業廃棄物は特別管理産業廃棄物として管理し委託処分を実施しております。

　・イオン注入装置部品洗浄・修理
　・CVD装置部品洗浄・修理
　・各種配管・トラップ洗浄
　・各種バルブ洗浄修理
　・真空ポンプ修理・真空配管設計
　・製作・施工・冶具の製作
　・金属加工・製作

洗浄品に伴う設備

●ドラフタ―

　汚染物の除去も安全な環境で行います

●ドライブラスト機

　・大型ブラスト機　Ｗ＝１８００　Ｈ＝１０００　Ｄ＝１０００
　・前面開放で大物部品もブラスト可能です

●洗浄槽

　・大型洗浄槽完備
　・Ｗ２４００ＸＤ５５０ＸＨ２５０ｍｍの洗浄槽により配管等長物も洗浄可能です。

●超純水超音波洗機

　・純水洗浄で汚染物の除去を行います
　・最大 W１２００Ｘ D１２００Ｘ H２００のワークが洗浄可能です

●真空乾燥機

　・クリーンな真空乾燥が可能
　・大型乾燥機2台完備しております

●クリーンルーム

　・ファンフィルターユニット2台によりクリーン度ＵＰ
　・クリーンベンチ下クラス１０００でメンテ品の組立を致します

●リークディテクター

　・リーク検査で安心してご使用いただけます
　・専用チャンバー、治具を自社で設計、製作出来ますのであらゆる製品のリーク検査が可能です